真空热处理炉中的真空烧结炉的应急处理方法

真空热处理炉中的真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。了解一下真空烧结炉在运行过程中的应急处理方法：

1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。  如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。  

2、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。  确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。

1、查看一下是不是水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。  接地故障。  

2、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。  

3、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。  

如果真空热处理炉出现漏气要怎么办