第二、将真空室抽到一定的真空状态后，关闭真空阀，如果真空计数值上升很快，多数情况是真空室漏。这时应先查出漏点并且治漏。如真空计数值上升很慢，就可能是真空机组抽气能力不够。真空淬火炉的重点查找真空泵及阀门的泄漏上，或真空泵油污染、氧化，或前级管路密封不好，泵油不足，或泵油乳化，轴封漏油等。这时要更换真空泵油或直接更换真空泵。
第三、如果设备真空度在短时间内迅速下降。一般是真空淬火炉的炉门、真空阀、中间隔热门等动态密封件老化、划伤及氧化皮脱落至密封线上所致，可以通过清理更换密封件，手动开关阀门检修。如果没有问题，那就检查真空室与外界接口位置，如连接法兰、水冷电极、管道及真空管等，有时可使用丙酮检漏法观察真空度变化，仔细查找漏点。
实在找不到真空淬火炉的漏点，就要把所有怀疑可能漏气的地方全部拆检并重新安装，或者加工实心法兰堵住后进行试验。
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